| 通过光同步的成像方法和原子力显微镜 |
| EP09715725 2009-2-27 发明授权 |
| 2017-11-29 |
| 至少一个样品成像的方法(112)，其中至少一个原子力显微方法并使用至少一个光学成像方法。原子力显微方法中，至少一个样品的尖端(126)位于所述样品(112)。在至少一个校准步骤，至少一个样品的尖端(126)的位置识别的光学成像方法。在该方法中，至少一个光学成像图像的记录范围选择在预定方向的位置的方法样品的尖端(126)。在至少一个图像记录的步骤，空间数据同步记录的方式进行原子力显微方法和作为光学成像方法。 |
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