| 与用于改变物体表面的装置相结合的扫描探针显微镜 |
| CN201580077521.X 2015-7-10 发明申请 |
| 2017-11-28 |
| 本发明涉及用于在纳米切割之后监测物体以及在低温条件下探究宏观和微观载体的结构的装置。本显微镜包括具有切割边缘的冲头、沿着两个轴线驱动冲头的驱动器、可以在平面内旋转的平台、可沿着三个轴线记录样品图像的压电扫描器、具有正被探究的样品的载体的保持器以及固定有探针的探针单元。压电扫描器被固定至平台，冲头被布置为能够与正被探究的样品相互作用，并且探针单元被安装在平台上以便可沿着轴线之一移动。此外，组件还包括对冲头的切割边缘产生机械作用以便改变其切割表面的模块，其中，上述机械作用模块被固定至固定有具有正被探究的物体的载体的压电扫描器和探针单元的同一平台。所提出的发明使得能够提高正被探究的样品的图像质量。 |
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