扫描探针显微镜
 
JP2017520053  2015-5-22  发明申请

2017-11-24
 
  (11)中的每一个的成像系统(1),激光束点第一和第二摄影条件适合拍照的悬臂(1)2(8),控制摄像头进行拍摄时切换拍摄条件。(15)图像合成部(2)的每个激光光斑连续图像来生成合成图像的清晰显现在显示器(9)显示的悬臂。激光中心位置检测部(13),(14)和悬臂(16)的位置可以调整针尖位置检测部计算部,连续获取图像的激光束2从悬臂尖端的中心位置调整的画面位置调整量计算的光轴,(9)和所述数值显示单元。操作者(7)的光轴调节的调节操作同时观看到的图像执行这些操作。因此,不能充分看到正常的实际观察的基础上,可以容易且可靠地进行光轴调整。
 
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