| 激光烧蚀功能的显微镜 |
| DE102016109303 2016-5-20 发明申请 |
| 2017-11-23 |
| 激光显微镜(1),包括至少第一激光源(10),该至少一个,在具体的脉冲,激发光束(11)发射,一种扫描光学装置(3),激发光束进行扫描(11)的表面(55)上的样品(5)形成,一种聚焦光学器件(4),所述激发光束(11)聚焦在样品(5)形成,以及至少一个检测器(61,光(762),7-7),所述样品(5)响应于激发光束的光学效果,由于(11)发出的,所述局部烧蚀的材料的样品(5)的第第二激光光源(20)的脉冲束烧蚀(21)提供,所述烧蚀束(21)扫描光学器件(3)上和所述聚焦光学器件(4)用于样品(5)中被导向。一种激光显微镜(1)的操作方法,其中,在所述激光显微镜(1)的脉冲激励束(11)和烧蚀脉冲束(21)样品(5)进行引导,所述各装置(3),用于激发光束(11)扫描和烧蚀束(21)上设置所述样品与所述至少一个检测器(61,62)的光,所述样品(5)因非线性光学效应响应于激发光束(11)发射,本发明提供所述烧蚀脉冲持续时间35300FS,ATC梁(21)之间,优选的ATC100和300之间,被选择。 |