| 高速自适应多环模式成像原子力显微镜 |
| US15326237 2015-7-14 发明申请 |
| 2017-7-13 |
| 一种使用高速动态模式原子力显微镜对样品成像的方法，可包括 : 在样品表面上扫描悬臂探针的尖端；经由在第一反馈控制器中产生的第一信号将尖端的振幅调节到在设定点值(ASET)处保持恒定；测量尖端的平均攻丝偏转；经由在第二反馈控制器中产生的第二信号调节平均攻丝偏转；在调节期间跟踪和测量对测量的平均攻丝偏转的调节。 所述方法还可包括基于所述第一信号、所述第二信号和所测量的所述悬臂探针的平均攻丝偏转的调整来生成所述样品的图像形貌。所述方法还可包括基于所述第一信号、所述第二信号和所测量的悬臂探针的平均攻丝偏转的调整来生成所述样品的图像形貌。 |
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