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一种扫描电子显微镜和其操作方法

CZ19000163 2016-5-21 发明申请

2017-7-12

一种扫描电子显微镜包括三个物镜，包括远处的物镜和物镜近，它是常规型的，以及浸入浸没式物镜远物镜与关闭物镜的下方。可独立控制这三个物镜，可以实现不同的活性化合物结合物及其物镜。因此提供多种成像模式的扫描电子显微镜。本发明的可能性，这些成像模式，使其之间切换，选择最合适的方式对于给定的成像应用。