| 电子显微镜成像缺陷的方法 |
| GB1621062 2016-12-12 发明申请 |
| 2017-6-21 |
| 扫描电镜图(SEM)来看，用于成像的原子级缺陷相关联的不同材料之间的界面包括迭代地调节冲击能量的电子光束20入射到样品，12区域中的靠近样品成像时，以及评估模拟背散射电子图像48的每个平面的原点调节，直到缺陷定位。反向散射可以通过电子飞行模拟仿真软件。所述的电子能量可继续迭代调整，直至电子束能量的能量相匹配与材料之间的界面的缺陷。电子能量可以通过调整对样品施加偏置电压。能量色散X-射线分析该组合物也可以用于识别的缺陷。定量分析也可以进行全覆盖的区域的缺陷。能量过滤，可以采用相对于所产生的电子形成样品。 |
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