| 近场偏振光扫描探针显微镜 |
| CN201610167405.3 2016-3-23 发明申请 |
| 2016-5-18 |
| 本发明涉及一种近场偏振光扫描探针显微镜，具有一条近场光学探测光路，所述近场光学探测光路中由He-Ne激光器发出的一束线偏振光依次经过四分之一波片A、分光棱镜、物镜A、探针至载物台形成近场光学产生光路；从探针反射的反射光依次经过物镜A、分光棱角、四分之一波片B、格兰泰棱镜、物镜，由光电接收器接收至图像显示系统。本发明能有效抑制远场背景光，提高近场光的信噪比，且能达到小于10纳米的空间分辨率。 |
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