| 大视场扫描探针显微镜结合用于修改对象的装置 |
| WOKZ17000011 2017-5-18 发明申请 |
| 2017-11-23 |
| 本发明涉及物体的测量探针领域微纳米后切片。本发明的本质在于在宽场扫描探针显微镜结合装置改性物，所述显微镜包括底座(1)，在压电扫描器单元(2)具有压电扫描器(3)，探针单元(10)具有探头保持器(11)，和冲头单元(15)具有冲头(16)被可移动地安装，冲头致动器(18)被配置为三轴致动器，让冲头(16)沿第第一轴线X，Y轴和第三轴，Z轴的第二；所述探头单元(10)安装在冲床上的致动器(18)。本发明的目的在于简化结构的装置，通过组合为一个单元测量装置用于修改对象。本发明的技术效果包括增加了测量分辨率。 |
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