| 高分辨率扫描电子显微镜 |
| KR1020160066331 2016-5-30 发明授权 |
| 2017-11-17 |
| 本发明涉及一种非真空区域通过真空膜，以防止损伤薄膜，惰性气氛和节约惰性气体扩散均匀化的方法通过高分辨率扫描电子显微镜本发明公开了一种显微镜观测样品的高分辨率。用于高分辨率扫描电子显微镜本发明的设置区域中的电子束源和光学单元真空电子束通过屏幕向非真空排出区域在扫描电镜观察到试样制样器表面；真空区域在所述非真空区的下端可拆卸地安装在真空空间隔开的区域，聚焦的电子束通过的薄膜的膜，非真空区域，其设置在所述板中心平面样品和样品的样品台，所述样品通过样品以防止损坏所述薄膜型膜片，其上的薄膜接触的膜设置成高度可调，所述引线框的端部保持样品之间的空间包括导向块，具有一惰性气体。 |
微信公众号