| 扫描光学显微镜和检查方法 |
| DE102016108987 2016-5-13 发明申请 |
| 2017-11-16 |
| 本发明涉及一种扫描光学显微镜(1，2，3)，该照明系统(20)从光源(100)发出的光源部(100-103)，第第一和第第二偏振相关分束器(105)，105b)光信道(21和第一和第二，22)之间的第第一和第第二分束镜(105)，105b)包括，其中，所述光源部分(100-103)被适配成，第第一照明光束(203)的光具有第一和第二的主极化方向辐射，第第一分束镜(105)设置，第第一偏振方向的光的至少大部分在第一主(21)和所述的光至少主要是引入第二通路(第二)的主极化方向(22)引导，第二分束器(105)相适配，光第一从第一(21)的主极化方向和第第二主偏振方向的光第二通道(22)的第第二照明光束(204)形成，所述通道(21，22)设置，从第第一偏振方向的光的第一主(21)和第第二偏振光方向的光第二主通道(22)的辐射具有不同会聚角。本发明还部分的相应方法。 |
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