| 扫描电子显微镜与样品检验方法 |
| US15667500 2017-8-2 发明申请 |
| 2017-11-16 |
| 扫描电子显微镜包含多像素固态电子检测器。 多像素固态检测器可以检测反向散射和/或二次电子。 多像素固态检测器可以结合模数转换器和其他电路。 多像素固态检测器可以能够近似地确定入射电子的能量和/或可以包含用于处理或分析电子信号的电路。 多像素固态检测器适合于高速操作，例如在大约100mhz或更高的速度下。 扫描电子显微镜可用于检视、检查或测量样品，例如未图案化半导体晶片、图案化半导体晶片、掩模或光掩模。 还描述了一种检查或检验样品的方法。 |
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