X射线光谱仪定量分析方法。
 
JP01161745  1989-6-24  发明授权

1995-10-9
 
  本发明的目的是通过使用各元件的激励电子束的最佳加速电压来测量特征X射线强度,并使用该加速电压来执行ZAF校正计算,从而获得精确的分析结果。 组成:MIN。 在ZAF校正操作中包含元件的激励电子束加速电压和实际激励电子束加速电压作为算术因子。 然后,将实际激励电子束加速电压设定为各组成元件的最佳值。 最小值。 激励电子束加速电压是取决于元件的常数。 因为在每个最佳激励电子束加速电压下测量每个部件的X射线强度,并且还用于ZAT校正计算,所以ZAF校正操作必须收敛到实际的浓度。 数值。 通过该方法,可以获得准确的分析结果。
 
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