| 形貌信号和选择信号获取装置，方法及具有其的原子力显微镜 |
| KR1020160052471 2016-4-28 发明申请 |
| 2017-11-8 |
| 本发明涉及带有形貌的选项的每一个点接触得到的信号，这些信号被获得形貌信号，以及任选地结合影像信号获取方法，装置和原子力显微镜具有其的方法。在根据本发明的一个方法实施例中测量物体表面形貌的信号和选择信号采集，使用悬臂尖端的表面形貌信号)和可选的感兴趣信号(选项信号)信号获得形貌的方法本发明揭示。本发明的方法，所述测量对象的状态时使用所述悬臂的形貌得到在特定点停止在预定位置，形貌信号获取步骤；所述悬臂所述测量信号采集后的地形地势，所述Z方向的双方降低质量，提升步骤；所述后得到的选项，选择信号获取步骤；和所述至少一个测量对象和所述悬臂移动的XY，传送步骤；其中，所述的外形；信号采集的步骤，所述梯子步骤，所述选择信号所述转移步骤，依次获取至少2次2000。 |
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