| 具有改进光谱功能的带电粒子显微镜 |
| US14983038 2015-12-29 发明授权 |
| 2017-11-7 |
| 公开了一种改进的光谱分析设备和方法，包括 : 将辐射束引导到试样上的测量位置上，从而使X射线通量从该位置发出； 使用探测器装置检查X射线通量，从而获得光谱； 选择源自所述位置的一组不同测量方向； 记录来自所述检测器装置的用于不同测量方向的输出； 采用项b和lp的卷积混合的光谱模型，其中b是轫致辐射背景光谱，lp包括与测量位置处的样品组成相对应的谱线； 然后根据光谱模型自动解卷积该组测量值以计算Lp，从而确定测量位置处样品的化学成分。 该方法包括校正沿不同测量方向的样品内的微分X射线吸收。 |
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