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产业专利数据

扫描热离子显微镜

US15583107 2017-5-1 发明申请

2017-11-2

一种扫描探针显微镜的方法包括向扫描探针提供热。该方法还包括接收扫描探针偏转信号，其中扫描探针偏转信号指示当扫描探针与样品接合时扫描探针的偏转幅度。从扫描探针偏转信号中分离出四次谐波信号，并使用该四次谐波信号测量样品的离子特性。