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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于表征样品表面的方法通过使用扫描电子显微镜和扫描探针显微镜

WOCZ17000031 2017-4-27 发明申请

2017-11-2

样品表面的方法通过扫描电子显微镜(SEM)表征和扫描探针显微镜(SPM)，其特征在于 : 由扫描样品表面的扫描电子显微镜和扫描探针显微镜同时进行，所述初级电子束对样品处于静止状态时移动台在XY平面扫描所述SPM探针是固定在该XY平面上。该表中，它通常是压电扫描器，因此在xy平面内移动的Z轴方向，或只在XY平面内，在Z轴方向上的移动进行SPM探针。