镜支撑模块、套件和扫描电子显微镜
 
US15271100  2016-9-20  发明授权

2017-10-31
 
  一种反射镜支撑模块,其具有主体,所述主体包括围绕内部空间的内部部分、外部部分、形成在所述主体中的孔以及在所述内部部分的一部分和所述孔之间延伸的中间区域。 当所述中间区域受到沿第一方向的力时,所述中间区域可沿第一方向朝向所述孔移动以减小所述孔的面积,同时所述外部部分保持稳定,而与所述中间区域的移动无关。
 
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