| 自动扫描电镜纳米探针工具 |
| US14696122 2015-4-24 发明授权 |
| 2017-10-31 |
| 本发明的各方面提供了一种装置，其包括主梁柱，主梁柱被配置成将高能粒子的主梁引导到包含一个或多个集成电路结构的样品上的感兴趣位置上， 检测器，被配置为响应于检测到由于高能粒子束和感兴趣位置之间的相互作用而产生的二次带电粒子，以及信号处理器，被耦合到检测器，被配置为测量从检测器产生的信号产生二次带电粒子的瞬态行为，以及特征化模块，被配置为通过将测量到的瞬态行为与预定参考瞬态行为进行比较来特征化感兴趣位置。 该探测器具有足够快的响应以检测二次带电粒子的产生的瞬态行为。 |
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