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用于扫描频率梳状显微镜中载流子分布的装置和算法

US15448151 2017-3-2 发明申请

2017-10-26

一种半导体载流子剖面测量方法，利用扫描隧道显微镜和带有频谱分析仪的屏蔽探针测量隧道结中产生的微波频率梳的功率损耗。根据该功率损耗并通过利用等效电路或其它模型，可以确定扩展电阻和来自扩展电阻的载流子密度。该方法是无损的样品，并允许扫描整个表面的样品。由于不具有破坏性，可以使用反卷积等其他分析方法。