| 电镜及聚焦方法 |
| JP2016082034 2016-4-15 发明申请 |
| 2017-10-19 |
| [问题]为了准确进行对焦的电子显微镜。[解决方案]100的电子显微镜，电子源10，从电子源发射的电子束EB10偏转，所述导流段14的入射角度改变电子束EB对样品S的杂原子，透射电镜成像的样品S的EB和物镜16E，16和14和偏转透镜控制部(32)，其中，所述控制部(32)，通过改变电子束EB预定角度相对于该样品的入射角位移向量表示的S图像之前移，所述透镜的物镜(16)的电流改变，多个采集和处理，基于位移向量的多个图像，以预定角度入射角度改变前移量最小的最小移位向量计算图像处理，基于最小分辨率位移向量，物镜(16)来确定当前处理，被执行。图[图1] |
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