| 扫描电子显微镜 |
| US15445055 2017-2-28 发明申请 |
| 2017-10-19 |
| 一种扫描电子显微镜，其能够适当地确定在样品上形成的台阶图案的台阶，而不管台阶图案的凹槽的材料和台阶图案的凸起的材料的组合， 该扫描电子显微镜包括射束源， 检测单元，所述检测单元具有第一检测单元，所述第一检测单元检测从所述样品以等于或小于预定值的所述一次电子束的光轴方向之间的角度发射的二次电子， 以及第二检测单元，其检测从样品以大于预定值的一次电子束的光轴方向之间的角度发射的二次电子；以及处理单元，其使用关于从第一检测单元和第二检测单元输出的信号之间的比率的信息来获得关于台阶图案的信息。 |
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