| 外差扫描探针显微镜的方法，因此扫描探针显微镜系统和探测器 |
| EP16165292 2016-4-14 发明申请 |
| 2017-10-18 |
| 本发明涉及一种外差扫描探针显微镜的表面上或下面成像结构的方法样品，该方法包括施加，利用换能器，声输入信号的样本检测，使用探针包括探针针尖接触表面，声音输出信号，其中的声表面波的声输出信号表示所述声音引起的声输入信号输入信号包括至少第一1兆赫以上频率的信号分量，并且其中所述声音输出信号检测该方法包括步骤 : 施加另一声音输入信号到至少一个所述探针或样品获得的混合声音信号，进一步的声输入信号包括至少第二1兆赫以上频率的信号分量，所述的混合声音信号包括第三的频率的信号分量之间的差值等于第一频率的第二频率，其中第三信号的频率成分低于1兆赫之间。 |
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