| 激光定域辐照样品表面动态过程的电镜检测方法和装置 |
| CN201710546388.9 2017-7-6 发明申请 |
| 2017-10-13 |
| 本发明提供了一种激光定域辐照样品表面动态过程的电镜检测方法和装置，包括：将聚焦激光束引入扫描电镜的样品室；将样品放置在扫描电镜的样品台上，并调节电子束的聚焦位置以及激光束光路，使得聚焦激光束的焦点和电子束的焦点重合，且聚焦激光束的入射方向与电子束的入射方向之间有一夹角；采用扫描电镜对样品进行观察检测；同时或者延迟输出聚焦激光束对样品表面进行定域辐照；通过扫描电镜实时检测激光辐照下的物质结构动态变化；关闭激光；结束扫描电镜操作。本发明通过对样品微小局部进行激光定域辐照，可对激光辐照的微区产生可控的极速加热、熔化、升华等物态变化，对腔室几乎不会产生污染，可研究样品在熔点以上物质结构动态变化过程。 |
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