一种基于原子力探针的显微镜头与样品台锁定系统
 
CN201710539939.9  2017-6-30  发明申请

2017-10-13
 
  本发明公开了一种基于原子力探针的样品锁定系统,包括显微镜头、激光器、四象限探测器、探针悬臂、原子力探针、样品台、控制单元;本发明利用原子力探针,通过原子间相互作用力来锁定显微镜镜头与样品台的相对位置,系统简单、成本较低且容易搭建。本发明可以克服镜头与样品台相对位置变化造成的图像失真,提高超分辨显微系统的工作精度。
 
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