| 电子显微镜 |
| WOJP16060089 2016-3-29 发明申请 |
| 2017-10-5 |
| 为了提供一种环形照明显微镜，能够容易且快速地之间的开关，广域照明，期望的干涉图案，正常发光，或获得优异的S/N比，本发明提供一种电子显微镜，包括如下 : 一种使用负电子亲和势光电阴极(101；光电阴极的激励光激发系统；散热及电子光学系统，照射到样品上，一种用激发光从光电阴极产生的电子束13通过激发光学系统12。对于激励光学系统包括光源装置(107)用于发射激发光，和光调制装置(108)，其设置在所述激发光的光路和执行空间相位调制的激发光。 |
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