| 相位不同的扫描透射电显微镜 |
| WOJP17012647 2017-3-28 发明申请 |
| 2017-10-5 |
| [问题]为了提供一种相位不同的扫描透射电镜，其具有优异的操作性，并且能够成像所述样品的相位变化与期望的对比度，同时最小化电子束曝光的样品。[解决方法]本发明相位差的扫描透射电子显微镜具有 : 电子枪31；照射光学系统32；扫描线圈33；会聚光学系统(34)；物镜35；和明场检测器36，用于检测电子束的强度。菲涅尔波带板(40)的上游侧杆上设置有焦平面上，使得焦点其设置在所述杆的焦平面上。由此，电子束包括基准波和主探头从照射一个样本对象50放置板在会聚光学系统(34)和物镜(35)。 |
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