| 相位对比度透射电子显微镜装置 |
| WOJP17012654 2017-3-28 发明申请 |
| 2017-10-5 |
| [问题]为了提供一种相位对比度透射电镜具有长寿命的相位调制装置不吸收不影响电子束的电子束照射，并且其中可以改变相位调制量的电子束。[解决方案]一种电子显微镜(10)具备 : 电子枪；第第一激光照射工艺，其设置在所述电子束源和物镜照射从电子束源发射的电子束与激光；第第二激光照射工序，其设置在激光汇聚物镜的后焦平面在电子束穿过样品的焦点与激光束照射；和屏幕或电子束二维传感器，用于检测样品图像的强度分布利用电子束成像光学系统。 |
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