| 方法和设备用于确定参考图像的显微镜。 |
| DE102016218433 2016-9-26 发明申请 |
| 2017-9-28 |
| 本发明提供了一种方法，其用于确定参考图像的显微镜，包括以下步骤 : 区域成像的探测器上的基板的非显微镜其中，所述区域的基底可以具有错误，所述成像导致的错误，接收映射作为参考图像，最小的参照图像的误差。还提供了一种显微镜，包括 : -光源，成像光学系统成像的基板，一种空气检测器，用于接收至少一个图像的基板，至少一个光学元件，其布置在所述基板保持结构非结构化的区域具有相同的光学特性，为待检查的衬底，并且可以引入在所述显微镜的光路。 |
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