| 冷却装置,物镜,物镜的显微镜及冷却方法 |
| JP2016059685 2016-3-24 发明申请 |
| 2017-9-28 |
| [问题]将其从所述热图像的热,同时保护的目标样本中可减少波动冷却装置的物镜,物镜的显微镜和冷却。物镜根据本发明的冷却装置[1],尖端53的端部设置有覆盖所述玻璃透镜物镜,镜筒(50),50,设置在所述罩(10)和镜筒之间的间隙(14)分开,保护罩(10)面对所述开口(12)的顶端设置有玻璃透镜(53),所述窗玻璃和玻璃镜片之间的顶部间隙53,21,20提供间隔,冷却空气的冷却空气供给端口31和32和出料口设置于罩10,所述罩(10)从物镜筒50的外周面设有热屏蔽板(40)的径向外侧突出的凸缘,冷却空气供给孔(31)供给制冷剂,从出料口排出的冷却空气32通过间隙14 : 21。图[图1] |