| 一个二次离子质量光谱仪定量的分析方法。 |
| JP63189763 1988-7-29 发明授权 |
| 1996-7-24 |
| 目的 : 允许定量的分析热力学分析的方法，即使没有样品中的内部标准器件 通过使用构成元素的一次离子束注入到样品作为内部标准器件。 构成 : 一种液态金属离子源1填充有AuSi合金1作为初级离子材料加热 电子轰击和样品照射一次离子束3抽出其产生二次离子 5。所述二次离子5的每个元件的强度由检测器7检测通过质谱仪 6。等离子体温度。 和电子密度的受照射部分通过计算确定。 所述数据组。 通过改变样品并将相似性测量。 未知样品的分析执行第一拉所述二次离子质谱， 使组合物。 分析选取出近似数据从数据组从所述推断的样品的种类， 初级离子物种和二次构成要素的初级离子的离子强度，然后计算浓度。 所述分析元件。 |
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