| 质量光谱仪 |
| JP61065702 1986-3-26 发明申请 |
| 1987-10-1 |
| 目的 : 以允许所述分析的材料从所述材料粘附到所述样品的表面到所述材料包含在所述样品通过提供一个初级离子加速功率源，其上可以被改变到一个低电压和高电压到初级离子源部分。构造 : 这由所述初级离子源的部分(1w8)，二次离子源部分(9w13)，分析部分(15w17)和检测部分(110w114)。所述气体供给从一气缸6以所述腔室3的内部是由所述的电子电离从灯丝1发射的和所述离子被加速所述初级的离子加速功率由所述电压源7，从而被插入到腔室9。该离子碰撞所述样品基座10上并电离所述相同的样品是所述腔室9。该样品离子被加速的一种二次离子加速功率由所述的加速电压源13和被进行质量分散体通过一个磁场16。所述二次离子过去一收集器狭缝17被接收在一收集器110和被记录作为质量一个记录器113中的光谱。所述初级离子加速电压是所述磁场的改变在每个扫描16通过进给一信号从一脉冲功率源114在上述提到的方式，通过其在消除电离所述的不便。 |
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