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一光谱仪和一投影曝光装置和一投影曝光方法。

JP63154697 1988-6-24 发明授权

1998-8-27

一光谱仪被公开，其中的多个入射狭缝被安装，和一个参考光通过一个入口狭缝和所述待测量的光通过所述其它入口狭缝被同时聚焦在光敏感的表面一个检测器通过一衍射光栅和一个聚焦光学系统，以测量所述所述的光的波长要通过使用所述参考光精确地测量作为一个标准。