| 扫描探针显微镜及其测量方法 |
| US15252993 2016-8-31 发明申请 |
| 2017-9-21 |
| 一种扫描探针显微镜， 定位单元，被配置为将探针定位在测量样品上， 激励单元，被配置为以预定频率激励所述测量样本， 谐振单元，被配置为通过转换所述测量样本的电容的变化来输出频率调制信号， 锁定放大器，被配置为输出通过提取解调信号的预定频率分量和预定频率的谐波分量而获得的差分电容信号；转换单元，被配置为输出指示施加到测量样本的电压与电容之间的关系的数据；检测单元，检测对应于关系数据的特征点的电压值；以及主测量控制单元，测量经受基本上等于特征点电压的DC偏置电压的测量样本的电特性。 |
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