| 扫描电子显微镜二次粒子检测系统 |
| US15071526 2016-3-16 发明申请 |
| 2017-9-21 |
| 一种扫描电子显微镜，包括 : 延迟电源，被配置为向样品施加延迟电压； 组合物镜，配置成将所述一次光束聚焦在所述试样的表面上； 静电偏转系统，其被配置为偏转所述主光束以将所述主光束引导到所述试样表面上的视场中的每个点； 第一闪烁检测器，其具有第一闪烁器，所述第一闪烁器被配置为在已经从所述样品发射的二次电子入射时发射光； 维恩滤波器，被配置为在不偏转所述一次射束的情况下在一个方向上偏转所述二次电子； 和第二闪烁检测器，所述第二闪烁检测器具有第二闪烁器，所述第二闪烁器被配置为检测由所述维恩滤波器偏转的二次电子。 第二闪烁体具有远离主光束轴线的远端。 |
微信公众号