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粒子束显微镜

DE102010056321 2010-12-27 发明授权

2017-9-14

粒子束显微镜(1)具有磁透镜(3)光轴和前极片(21)，其设置在沿光轴的光路有间隔之前将物平面(19)。物体保持器构造成保持物体(5)在光轴之间的交点物平面内。X射线探测器的仰角设置，使得线和中心之间延伸的基板(35-1)。