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4
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电子显微镜
JP2016043204 2016-3-7 发明申请
2017-9-14
[A]的形式的样品可同时与电子显微镜测量的物理属性值。[解决方案]100的电子显微镜,电子照射的样本,通过电子显微镜观察样品,激光光源产生的激光(L)22,从样品产生的激光(L)照射光的光检测部(36)S的样品和,包括。图[图2]
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