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用于在用扫描探针显微镜分析样品表面时避免损坏的方法和设备

US15455305 2017-3-10 发明申请

2017-9-14

本申请涉及一种用于在用扫描探针显微镜分析样品表面时避免损坏的方法，该方法包括以下步骤 : 在测量尖端接近样品表面的过程中检测样品表面的电荷和扫描探针显微镜的测量尖端之间的静电相互作用，所述测量尖端接近样品表面的距离已经大于在分析样品表面时测量尖端的距离。