JP62293399  1987-11-20  发明授权

1995-1-27
 
  一多极透镜的聚焦或扩散的带电粒子光束具有一金属滚筒安装在所述真空容器和所述订所述的内侧壁上形成多个凹槽筒,和多个圆柱形电极分别安装在所述多个凹槽通过薄的绝缘体。所述所述每个凹槽的横截面形状是圆形arcwise和所述凹槽被形成沿着一中心所述金属筒的轴线。例如,所述多极透镜在本发明中使用的是一个静电四极透镜的质量光谱仪或用于一四极质谱仪中。在本发明的电充电在该绝缘体是所述带电粒子光束,从而使所述的轨道小可以非常准确的用于长时间。
 
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