| 光束对准方法以及电子显微镜 |
| EP17159706 2017-3-7 发明申请 |
| 2017-9-13 |
| 本发明提供一种光束校准方法，能够容易地对齐电子束的无彗差轴电子显微镜。该方法开始于在第第一方向上倾斜的电子束(EB)(+)相对于参考轴线(A)得到第一的TEM(透射电子显微镜)图像。然后，所述横梁上倾斜在第二方向(-X)相对于参考轴，第二方向(-X)在从第一基准轴线(A)相对侧(+X)方向，和第二获得TEM图像。所述参考轴的大小呈渐进变化，以降低功率谱之间的差分图像的亮度第一的TEM图像第二的TEM图和功率谱。 |
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