辉光放电质量分析装置
 
JP63157457  1988-6-24  发明申请

1990-1-11
 
  目的 : 使灵敏度的改进通过激光束照射到所述样品物质挥发通过辉光放电。结构 : 一样品1是与负电压提供到阳极2,和气密地插入到一个辉光放电区21通过一个样品保持体4。一放电气体(Ar)被引入到该区域21从一供应管6,和一种Ar离子通过辉光放电产生的所述样品的溅射表面1,和所述样品是待挥发气化。和所述挥发物质,在其中它被离子化的可忽略不计的量,但本发明的一主要部分是一种中性原子,是由所述激励光从一激光的光离子化源9。在一样品产生离子从而,它再次溅射所述样品1的一部分朝向所述的表面该样品1,和另一部分被加速朝向所述阴极3以进行至一四极杆12(质量光谱仪)从所述离子发射所述中间端口20提供在所述的附近的所述阴极3。这可以提高灵敏度与所述增加的离子量进入到一质量光谱测定装置。
 
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