| 离子微 |
| JP61154061 1986-7-2 发明申请 |
| 1988-1-18 |
| 目的 : 以降低所述定性定量分析通过使其可能的时间，以选择自由一种快速溅射分析模式或一该周期期间的一个慢速高分辨率分析模式分析。结构 : 在定性定量分析样品在深度方向的情况下使用o+2离子源为一第一离子源1，CS+或Xe+离子源是用作一第二离子源。作为一种均匀的溅射是在深度方向的情况下所需的分析，执行一个光栅扫描是与一主离子束。Y扫描周期变为一个帧的所述光栅扫描和主离子的开关3和偏转量偏转轴对准装置6被切换到被与该帧同步。因此该样品上的所述相同的点被照射或者通过o+2和CS+或Xe+离子。由于Cs+或Xe+离子具有较高质量的比o+2离子，其溅射速度变快。当o+2和CS+在可选地被改变为所述初级离子源在这种方法，如果所述极性一种二次的离子加速电源11和一质量光谱仪上的电源被改变，电正性元件和负元件被检测的可替换地由一检测器9。 |
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