| 质量光谱仪 |
| JP54017312 1979-2-19 发明申请 |
| 1980-8-23 |
| 目的 : 以抽空真空室牢固地和快速通过制造一种离子源容易操作和通过简单的结构部分和分析部泄漏，通过使用该公共漏中的一个样品导入孔部，和然后通过给出效果以由一个不同的排气系统对应于检测到的排气压力。结构 : 根据所述的操作所述的开关控制部1，高真空规15的分析部4是切断，阀17w19被闭合，和公共的泄漏孔22直接试样导入部3中被打开，以使引出部3中泄漏，使得在压力上升将被检测的低真空规14。因此，高真空规15和所述离子源的离子源电源部分2被切断和阀16和17被关闭和打开分别向使电源部2泄漏，使得当所述电源部分2的低压力将被检测由所述低真空表，该光谱仪部4将由到与泄漏阀20打开。这种分析部4被排出的预先由旋转泵12通过电源供给部分2和引出部中3和当所检测到的低真空规14的压力达到一固定值，控制部1关闭和打开阀20和21分别以进行交替与排气系统通过油扩散泵13，从而使所述将被容易地进行穷举，安全地和快速。 |
微信公众号