JP61065708  1986-3-26  发明授权

1994-11-22
 
  一质量光谱仪包括用于与一个主光束照射一个目标装置,用于转发所述目标装置从所述一真空室的外侧,用于发出的所述的二次离子质量分析装置通过所述目标,和装置,用于因此在所述二次离子质量分析数据收集。进一步,装置被提供用于同步定时用于所述目标和其用于所述数据的所述转发收集和用于停止一预定的周期期间基本上所述数据收集后停止时间(T)的所述转发所述的目标。
 
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