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扫描电子显微镜
WONL17050128 2017-3-3 发明申请
2017-9-8
扫描电子显微镜(1)包括可滑动真空密封件(20)之间的电子光学成像系统(2),样品载体(10)与第第一板(22)具有第第一开口(24)相关联,所述光学成像系统并且抵靠第第二板(26)具有第第二孔(28)与所述样品载体相关联。板包括凹槽板第一和/或第二(40)第一和/或第二孔。扫描电镜可以包括检测器(8)可相对于所述电子束。扫描电镜可以包括运动控制单元,用于移动样品托架沿着无冲突路径。
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