| 表面分析仪 |
| JP58248330 1983-12-26 发明申请 |
| 1985-7-19 |
| 目的 : 使一样品中的化学改变两个三维显示一种可行的时间内表面通过测量所述在几个波长的X射线强度值在所述样品表面上二维地测量点的集合。结构 : 一样品1是由一个电子束2激发和X射线3照射从所述样品上是由入射X射线检测器5通过一个分光晶体4。所述样品表面1被分割成微小区域p11wPNN和一个样品台8被驱动到移动所述光束的照射点2的顺序。这里，X射线光谱仪9被驱动到第一波长的位置以存储所述检测器的输出5为一存储器M1从该位置P11～PNN。然后，同样地，在第二波长的位置，所述其输出被存入一个存储器M2和最后，化合物在所述样品上的各种区域1是通过计算与一个计算机6识别到被示出在一个显示11。这使得一个二维显示在所述内表面的化学改变一个实际时间与一单个X射线光谱仪5通过切换所述波长位置。 |
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