| 使用电子束试料观察方法，以及电子显微镜 |
| JP2015038738 2015-2-27 发明授权 |
| 2017-9-6 |
| 所要解决的问题 : 以提供良好的试料观察方法，通过该方法可以观察扫描透射电子显微镜图像具有高程度的自由度，使装置结构简单。溶液 : 使用电子束试料观察方法包括 : 扫描电子束扫描样品的步骤，使得电子传输通过样品进入发光体发射的光进入电子对；检测步骤 : 检测所述发光体一发出的光具有发送侧，其中电子通过样品进入；以及成像扫描透射电子显微镜图像获取步骤，利用扫描电子束的位置检测到的光信息。 |
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