| JP58230097 1983-12-5 发明授权 |
| 1993-11-5 |
| 目的 : 观察阴极发光具有恒定高分辨率的情况如何，通过移动扫描范围的狭缝或反射镜同步扫描的电子束，并引导光从样品到狭缝。该样品4在两个维度上扫描的电子束通过扫描控制部分8，偏转线圈6。所述荧光从样品(4)通过聚光透镜21-23会聚到光谱仪(24)上。控制信号从控制部(8)提供给伺服马达28驱动部(28)的狭缝移动狭缝30和32通过致动器28，B电子束的扫描同步。因此，所述具有特定宽度的会聚光线从入光面入射的入射狭缝30由衍射光栅衍射光谱36进入检测器(26)通过出射狭缝32。因此，无论高分辨率测量阴极发光的扫描范围。 |
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