| 图案的形成和装置，其 |
| JP57201933 1982-11-19 发明申请 |
| 1984-5-28 |
| 目的 : 形成一沉积在所述显微中的点(μm的直径或更小的一种方法，其中所述待沉积的物质是气相-沉积一基板上，执行一个离子束是辐射和刻蚀是在这样的一种方式使该部分到被照射的是左。结构 : 一后子16具有被抽空到10-6乇或其周围的程度，所述物质10是气相-沉积在样品上均匀的厚度8使用电子束冲击加热型气相沉积装置。然后，该样品台7对该样品8是进入该主室4，和所述室4是抽空到10-8乇或其周围的程度。然后，所述测量的所述气相-沉积膜的厚度是利用一种二次离子质谱法进行。随后，一个离子束9照射在样品8，一溅射蚀刻使进度，所述二次离子25所述的单独样品8是检测由一个四极质谱仪26和一质量光谱仪控制器27，以及所需要的时间被计算，从而能够选择最佳的沉积所述的离子加速能量的值光束9。 |
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