| 用于所述条件分析过程和装置。 |
| DE3585533 1985-6-11 发明授权 |
| 1992-4-9 |
| 在所述的装置，该电子束(12)从一电子枪(11)被入射在一个测量点在所述待分析的样品(10)，其是，该光束被引导通过一聚光透镜(13)和一物镜透镜(14)。一扫描线圈(15)被提供到使该样品的扫描(10)其中，在响应于所述光束(12)发射一X-射线(16)和二次电子。两个波长色散光谱仪被提供给检测所述的特征X-射线(16)。一个光谱仪包括一个分光晶体(17)作为波长色散的装置和一个检测器(18)。所述其它光谱仪包括所述波长分散分光晶体(19)和所述检测器(20)。所述两个光谱仪，与所述相同的灵敏度，检测所述的特征X-射线，每组三个不同的波长。一种ement测量点的数目与一线分析或两维扫描被扫描的图像被显示。 |
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